Confidential VAT 119 SUNRIN Slit Valve Confidential Vulcanized

Confidential VAT 개조 국산화 1/19

SUNRIN Slit Valve Confidential 구성품 Vulcanized seal Oil-less busing Dual seal Cylinder Air Control Needle Valve Piston 2/19

VAT社 Slit Gate Valve Confidential ※ VAT Slit Valve 문제점 ■ Valve Life Time 짧음 →고온에서 Bellows Shaft 구간 Body Shaft Guide 휨 현상 발생으로 구동불량 유발. → Cylinder 부 Piston O-ring Seal(1 ea) 적용으로 잦은 반복 운동시 Air Leak 발생. ( Body 변형 시 Repair 불가 → High Cost 수리비용 발생) ■ Metal to Metal Touch로 인한 Particle 유발 → Metal 소재의 Back Side Vacuum Guide (SUS) 사용으로 역압 발생시 Metal to Metal Touch 발생. 3/19

Sunrin社 Slit Gate valve Confidential ■선린Valve SUS Ball Bush 적용 O-ring Seal(2 ea) SR_SLIT VALVE NMS-01 ※ 타사 대비 Sunrin Slit Valve 특징 ■ Valve Life Time 증가 →고온에서 Bellows Shaft 구간 Body Shaft Guide 휨 방지를 위해 SUS Ball Bush 사용 → Cylinder 부 Piston O-ring Seal(2 ea) 적용으로 잦은 반복 운동시 Air Leak 발생 방지 ( Body 변형 시 Repair 가능 → 수리비용 절감 발생) ■ Metal to Metal Touch로 인한 Particle 유발 방지 → Metal to Metal Touch (역압) 발생 시 Particle 발생 방지용 부품 개선 ⓐ Vulcanized seal Guide 사용 ⓑ 수지(Peek) 계열 Guide 사용 4/19

■ Technical data Confidential 선린 社 (1 -Step type) 타 社 (1 -Step type ) Pressure range 1*10 -10 mbar to 1 bar Differential pressure on the gate 1 ATM Leak rate < 1 x 10 -9 mbar l s-1 Open / close Time ■ Open & Full Seal : 1. 5 ~ 2 / sec ■ Close & Full Seal : 1. 5 ~ 2 / sec Mounting Position Any ( Valve seat on chamber side is recommended ) Compressed air pressure Air ( 0. 5 ~ 0. 7ＭＰa ) Cycles until first service 1, 000, 000 O-ring rolling 방지 Vulcanized seal 사용 역 압 방지 Back Side Vacuum Guide 사용 Metal touch 방지 Back Side Vacuum Guide 안쪽 (Vulcanized seal / Peek) 사용 없음 이물질 방지 Bellows 사용 특징 ■ Bellows Shaft 구간 Body Shaft Guide 에 고온에 강한 Ball Bush 사용. ■ Metal touch 방지를 위해 Back Side Vacuum Guide 안쪽 Vulcanized seal / Peek 사용 ■ Cylinder 부 Piston O-ring Seal(2 ea) 적용 잦은 반복 운동시 Air Leak 발생방지. - 5/19

Confidential V-tex vs Sunrin Gate Valve (Roll Cam Model)비교 자료 6/19

L-Motion Slit Valve Confidential 구성품 NONE Bellows (O-ring 방식 Feedthrough) Micro Switch or Photo sensor Roll Type UP/Down Moving Roll Guide Piston Air Control Needle Valve One Cylinder 7/19

V-TEX 社 L-Motion Slit Valve 기존 V-Tex Slit Valve Confidential 문제점 Back Side Vacuum 발생 Roll cam마모 Bearing 마모 ■ Valve Life time 짧음 → Roll Cam Block 과 Shaft Bearing Design 공차로 인한 마모 진행으로 L-Motion 동작 문제 발생. → 부품 Life Time 짧아짐. ■ Valve Close시 Back Side Vacuum 발생 풀림 → Body 와 Cylinder 연결 부위가 두 부분으로 나뉘어져 Valve 동작 시 Bolt 풀림 현상 발생으로 Back Side Vacuum Leak 발생. → Roll cam 부분 Cam 마모로 Back Side Vacuum 발생 8/19

■ Technical data Confidential 선린 社 (2 -Step type) 타 社 (2 -Step type ) 1*10 -10 mbar to 1 bar 1 ATM < 1 x 10 -8 mbar l s-1 Open / close Time ■ Open & Full Seal : 1. 5 ~ 2 / sec ■ Close & Full Seal : 1. 5 ~ 2 / sec Mounting Position Any ( Valve seat on chamber side is recommended ) Compressed air pressure Air ( 0. 5 ~ 0. 7ＭＰa ) Cycles until first service 1, 000, 000 o-ring rolling 방지 Vulcanized seal 사용 역 압 방지 Shaft Busing 고정 Guide 개선 방식 채용 없음 Metal Touch 방지 Vulcanized seal 사용 : 현상 방지 없음 이물질 방지 Protection Dust Seal 사용 없음 Pressure range Differential pressure on the gate Leak rate 특징 ■ 기존의 불안정한 L-motion을 유발 시키는 Roll cam 방식에서 Shaft Busing 고정 Guide 방식 개선 적용 으로 Back side Leak 방지 ■ 대형 Cylinder 및 Piston을 적용 L-motion Pushing 능력을 향상. (Internal Leak 발생 방지) ■ Shaft 에 Protection Dust seal 채택으로 Bellows 내. 외부 이물질 투입방지. - 10/19