Zskavanie nzkych tlakov n n n Vytvranie nzkych
- Slides: 34
Získavanie nízkych tlakov n n n Vytváranie nízkych tlakov Udržanie nízkych tlakov Výveva – zariadenie na vytváranie nízkych tlakov v uzavretých objemoch
Vývevy n S transportom molekúl z čerpaného objemu n Bez transportu
Vývevy s transportom molekúl n Mechanické q Periodicky sa meniaci pracovný priestor n n q Piestové membránové Rotačné scroll S nepremenným pracovným priestorom n n n Rootsove Molekulové Turbomolekulové
Vývevy n Paroprúdové q q n Vodné Ejektorové a difúzne Ionizačné a tepelné
Vývevy bez transportu molekúl n n Kryosorpčné Getrové Iónové Zeolitové
Charakteristické parametre vývev n n Výstupný tlak vývevy Pracovný tlak vývevy Hraničný tlak Čerpacia rýchlosť
Piestová výveva
Po n cykloch V-objem recipienta, v-objem pumpy Teoreticky: n→∞ p→ 0 V skutočnosti hraničný tlak p 0 (spätné prúdenie, škodlivý priestor)
Teoretická čerpacia rýchlosť n-počet zdvihov za 1 s, v objem komory, v´ –škodlivý priestor n – určuje doba naplnenia komory
Čerpacia rýchlosť p 0 – hraničný tlak, β – spätný prúd p>>p 0 – S=Sk p~p 0 S→ 0
Membránová vývveva
Membránová výveva n n n Výstup – atm. Tlak Pracovný tlak atm. – 1 mbar Hraničný tlak 1 mbar dvojstupňová Suchá bez oleja Viac komôr q q Sériovo – nižší tlak Paralelne – väčšia čerpacia rýchlosť
Membránová výveva n n n Výstup – atm. Tlak Pracovný tlak atm. – 1 mbar Hraničný tlak 1 mbar dvojstupňová Suchá bez oleja Viac komôr q q Sériovo – nižší tlak Paralelne – väčšia čerpacia rýchlosť
Gaedeho Hg rotačná pumpa
Rotačná výveva so šupátkom
Rotačná olejová výveva
Dvojstupňová
ROV n n n Výstup – atm. Tlak Pracovný tlak atm. – 10 -2 mbar Hraničný tlak 10 -2 Pa dvojstupňová Otáčky 300 -1500 ot. /min Vibrácie Olej q q Olejové pary (do vákua) Mazanie Tesnenie Vypĺňa škodlivý priestor
Rootsova výveva
Rootsova výveva n n n n Výstupný tlak 100 Pa Hraničný tlak 10 -2 Pa Otáčky 1000 ot. /min Mechanická presnosť 0. 1 mm Suchá – bez oleja Veľká čerpacia rýchlosť Viacstupňová – atmosferický tlak
Clawn výveva
Clawn výveva n n n Výstupný tlak atmosferický Hraničný tlak 10 -1 Pa Otáčky 1000 ot. /min Suchá – bez oleja Veľká čerpacia rýchlosť viacstupňová
Molekulová výveva
