Overview o Microscope Optik v s SEM o

Overview o Microscope Optik v. s SEM o Scanning Electron Microscopy (SEM) n Pengenalan SEM; n Interaksi Berkas elektron-Materi n Preparasi Sample n Kegunaan/Kelebihan SEM n Beberapa contoh SEM image bentonit

Microscope Optics v. s SEM o Pemilihan Mikroscope Optik atau SEM/TEM sangat bergantung pada keperluan o Untuk mengamati objek dengan ukuran mikron dapat digunakan M-Optik o Untuk objek dengan skala sub micron (nm) dapat digunakan SEM-TEM

Microscope Optics v. s SEM o Dapat dilengkapi dengan pemanas dan sensor temperature

Contoh Penggunaan Mikroskop Optik; o Mobilitas Material pada Temp Sintering

Pengantar: SEM n Contoh-contoh image SEM; Sample: Ceramic membrane Ceramic foam n Prinsip kerja

Pengantar: SEM o Membrane Si. C o Perbesaran 50 x

Pengantar: SEM o Membrane Si. C o Perbesaran 200 x

Pengantar: SEM o Ceramic foam o Perbesaran 20 x

Pengantar: SEM o Ceramic foam o Perbesaran 100 x

Pengantar: SEM o Ceramic foam o Perbesaran 500 x

Pengantar: SEM o Ceramic foam o Perbesaran 2000 x o Partikel dapat dilihat pada skala micron

Pengantar: SEM o Ceramic foam o Perbesaran 5000 x o Partikel dapat dilihat pada skala micron

Pengantar: SEM o Ceramic foam o Perbesaran 20000 x o Partikel dapat dilihat pada skala ratusan nm

Pengantar: SEM o Aplikasi: mempelajari morphology (sifat permukaan) suatu material: n Ukuran partikel/Chanel/Pori n Bentuk partikel/Pori n Pada SEM yang dilengkapi dengan EDX dapat pula ditentukan komposisi internal dari partikel o Dasar: Interaksi berkas elektronsample

Pengantar: SEM o Microscop Elektron; Jenis microscop yang mengunakan berkas elektron untuk mendapatkan image sample o Scanning Electron Microscopy, Microscope Electron yang “memotret” material berdasarkan interaksi elektron dg permukaan material

Interaksi Berkas elektron dg Sample Berkas Elektron Primer Sinar-X Foton Elektron Hamburan Balik Elektron Sekunder Elektron Auger Elektron Terdifraksi elastis Elektron tertransmisi SEM

Interaksi Berkas elektron dg Sample Berkas Elektron Primer Sinar-X Elektron Hamburan Balik Elektron Secunder Foton Elektron Auger Elektron Terdifraksi elastis Elektron tertransmisi TEM

Overview o Teknik Microscopy Elektron: n Scanning Electron Microscopy (SEM) Memanfaatkan hamburan balik elektron n Transmission Electron Microscopy (TEM) Memanfaatkan hamburan elastis elektron transmisi

Prinsip Peralatan SEM/TEM Elelctron Gun Lensa Kondensor Coil Sample Lensa Objektif Sample Bidang Imaging

Prinsip Peralatan SEM

Gambar Teknis

SEM

Penyiapan Sampel SEM 1. Bersihkan sample 2. Keringkan; dg vakum kalau mungkin (Sample harus bebas dari H 2 O) 3. Tempatkan sample pada sample holder 4. Sputter dg Au atau Pt

Penyiapan Sample o Ukuran sample holder: 12 mm atau 25 mm o Untuk menempelkan sample diperlukan double-sided tape konduktif o Area yang dipelajari sebaiknya diletakan pada 45 degree o Kontak area yang luas akan menguntungkan

Sputtering Untuk sample yang tidak bersifat konduktif, perlu dilakukan pelapisan dg Au

Cara Kerja Alat Sputering o Logam (Au) sbg katoda o Sample ditempatkan pada anode o Gas Argon sbg atmospere o Diterapkan beda potensial o Cathode mengionisasi atom Ar menjadi kation dan elektron o Ion Argon ions terakselearsi ke arah katoda (Au)

Cara Kerja Alat Sputering o Atom Au dan elektron terhempas karena tumbukan o Atom Au bertumbukan dengan ion Ar dan akhirnya melapisi sample dg ketebalan kira-kira 10 -30 nm

Advantage and Drawback o Kelebihan n Preparasi sample cepat dan sederhana n Ukuran sample yang relatif besar n Rentang perbesaran yang luas: 3 X 150, 000 X o Kekurangan n n Dibanding TEM resolusinya lebih rendah Digunakan vakum Hanya permukaan yang teramati Diperlukan coating dg Au

` SEM Bentonit sblm 2000 x

Contoh Image SEM dari Bentonit SEM Bentonit sebelum 10000 x o SEM Image bentonit sebelum digunakan sebagai adsorbent o Struktur dasar bentonit o Diduga partikel komponen limbah

Contoh Image SEM dari Bentonit SEM Bentonit sdh 2000 x

Contoh Image SEM dari Bentonit SEM Bentonit sdh 7500 x o SEM Image bentonit setelah adsorpsi limbah o Struktur dasar bentonit o Diduga partikel komponen limbah

Teknik Baru o SEM-EDX; SEM-Energy dispersive Dapat digunakan untuk analisa unsur Spot yang diamati o Environmental SEM Dapat digunakan untuk mengamatai perubahan morphologi pada berbagai temperatur