NANYA TECHNOLOGY CORPORATION NTC 11102020 1 NTC CONFIDENTIAL

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NANYA TECHNOLOGY CORPORATION 三. 節能目標及計畫 Facility Group 94上半年Working Review Working Objectives Goal Actual 一. 效能提高 系統改善件數 設備故障率 > 2件(Fab-1) < 20 ppm(Fab-1) 3件 0 ppm 二. 風險降低 異常事故件數 風險評估檢討件數 < 1件/月(Fab-1) > 3件/月(Fab-1) 0件 6件/月 三. 費用降低 物料費用 < 63元/片(Fab-1) 49元/片 保養費用 < 95元/片(Fab-1) 96元/片 公用處 11/10/2020 5 備註 NTC CONFIDENTIAL

NANYA TECHNOLOGY CORPORATION Facility Group 94上半年Working Review 一. Energy save and material cost down objective No. 改善內容及效益 執行狀況 備註 1 DI system active carbon reuse. (FAB-1) 94/6 done， cost down 11 KNTD/M。 2 Toxic gas detector use new XP type cassette project. (FAB-1) 94/5 done， cost down 10 KNTD/M。 3 Chiller system refrigerant additive project. (FAB-1) 94/5 done， cost down 192 KNTD/M。 公用處 11/10/2020 6 NTC CONFIDENTIAL

NANYA TECHNOLOGY CORPORATION Facility Group 94下半年Technical Board Working Plan Working Objectives Goal 一. 效能提高 系統改善件數 Fab 1 4件 設備故障率 Fab 1 < 10 ppm 異常事故件數 Fab 1 < 0件/月 風險評估檢討件數 Fab 1 >4件/月 Fab 1: < 48元/片 < 95元/片 二. 風險降低 三. 費用降低 物料費用(原料及物料) 保養費用 **以上基準以 94年 1~6月平均值修訂 公用處 11/10/2020 7 NTC CONFIDENTIAL

NANYA TECHNOLOGY CORPORATION Facility Group 94下半年Technical Board Working Plans Goal Due Date Sponsor 一. Energy consumption&material cost down objective 1. 1 B DI system UF membrane life time prolong. 21仟元/月 94/12 江萬力 2. 1 B DI anion tower resin take reused resin. 100仟元/月 94/9 江萬力 3. 1 A DI polisher tower resin take 2 nd source resin. 50仟元/月 94/10 江萬力 4. Change HBr cylinder from 10 kg to 50 kg. 節省人力 94/12 龔彥名 5. Cooling tower blow down water reuse to scrubber. 15仟元/月 94/9 蔡善飛 6. MAU control methodology take wet ball temperature. 108仟元/月 94/11 蔡善飛 7. MAU drain water reused to cooling tower. 94/11 蔡善飛 15仟元/月 共計 309仟元/月 公用處 11/10/2020 8 NTC CONFIDENTIAL

NANYA TECHNOLOGY CORPORATION 8. 節能措施: 全廠主要pump/風車均採用變頻設計。 節能成效: 每年約可節省電力 1187. 2萬度/年。 PCW SYSTEM ZONE PUMP EXHAUST FAN 公用處 11/10/2020 MAU SYSTEM 17 NTC CONFIDENTIAL

NANYA TECHNOLOGY CORPORATION 公用處 11/10/2020 24 NTC CONFIDENTIAL