Nagyfelbonts transzmisszis elektronmikroszkpia Ksztette NmediVarga Blint Tmavezet Fogarassy
Nagyfelbontású transzmissziós elektronmikroszkópia Készítette: Némedi-Varga Bálint Témavezető: Fogarassy Zsolt Tanáraim: Alapiné Ecseri Éva, K. Szabó László
Rod-sol • A nyári iskola keretében az intézetben folyó Rod-sol európai uniós projektbe kapcsolódtam be. (www. rodsol. eu) • Cél: újfajta, nagyobb hatásfokú vékonyréteg technológiával kialakított napelemek kifejlesztése.
Két különböző eljárással készített mintát vizsgáltam • Jénában és Halléban készültek • Az intézetben a minták szerkezet vizsgálatát végzik Au növesztés Ag segítségével maratott minta
Ag segítségével maratott minta vizsgálata Világos látóterű kép (BF) • Minta előkészítés: ionsugaras vékonyítás • Ezt a Philips 200 k. V-s TEMmel vizsgáltuk • EDS analízis 0 Ag
Au növesztéses tech. • Minta előkészítés: ultrahangos fürdő • JEOL 300 k. V-os HRTEM-es vizsgálat Si rács Amorf C
Au növesztéses tech. HRTEM kép EELS elemtérkép Si Au ARANY SZILICIUM
Összefoglalás • Az elektronmikroszkóp segítségével információkat nyertünk a vizsgált minták mikroszkopikus tulajdonságairól. • Mindezeket felhasználhatjuk a gyártási technológia optimalizálására.
Köszönetnyilvánítás • Mentoromnak: Fogarassy Zsoltnak • Tanáraimnak: Alapiné Ecseri Évának, K. Szabó Lászlónak, Jeneiné Horváth Kingának • Az MFA intézetének illetve a Nyári Iskola szervezőinek, külön Daróczi Csabának • Vékonyréteg-fizika osztály dolgozóinak
Köszönöm a figyelmet!
- Slides: 9