l DCS Distributed Control System l PLC Programmable

控制系統分類 l DCS (Distributed Control System) l PLC (Programmable Logic Controller) l PAC (Programmable Application Controller) PC-Based

PAC

半導體廠內自動化系統區分 l 辦公室自動化系統 l Module自動化系統 l Facility 自動化系統 MIS - Office Automation CIM - FAB Module Automation FMCS - Facility Automation

l Module 自動化系統 ¡建立CIM 網路系統 ( FAB � 相關網路) l建立EAP 網路連線, 擷取 Tool 資訊 ¡MES (Manufacture Executing System) l設定與執行製造流程執行 l. Tool 現況監控, 如Run, PM, Warm S/D, Cold S/D ¡APC (Advanced Process Control) l收集即時製程參數, 監控Tool狀態 l. UPC (Pump/Local Scrubber) 資料收集監控 ¡EIM (Engineering Information Management) l收集測試及實驗數據進行SPC分析及各種統計手法

l Module 自動化系統 (續) ¡AMHS (Automated Material Handling System) l. Tool 間 Lot 自動化傳送 l設定最佳路徑, 自動化傳輸

l EAP 介面圖 ¡EAP 透過半導體設備通用的介面與機台交換資料 l. HSMS l. SECSII l. GEM l其他 SEMI 所訂定的 Protocol EIM AMHS MES Tool APs SECSII EAP APC

l SECSII ¡一種固定格式的通訊協定, 讓設備與EAP之間可以交 換訊息 l HSMS - High Speed SECS Message Service ¡一種透過TCP/IP (Ethernet) 介面, 讓EAP與設備間可 高速交換訊息的通訊協定 l GEM – General Equipment Model ¡驅動設備於各式狀況下去進行特定的動作 ¡這個標準對於EAP來� 定義著設備點的狀況 l 其他 SEMI 標準 ¡Carrier Management, Process Job Management, Control Job Management, Carrier Handoff

半導體廠務系統簡介-氣體供應系統 l 氣體供應系統 ¡Gas Cabinet / Gas Rack 系統 ¡VMB (Valve Manifold Box) / VMP (Valve Manifold Panel) 系統 ¡Bulk Gas Supply System ¡CQC (Continuous Quality Control) ¡偵測器系統 l. Vertex MDA – 紙帶式毒氣偵測器 l. Drager Detector – 電化學式毒氣偵測器

半導體廠務系統簡介-無塵室系統 l 無塵室系統 ¡MAU (Modular air handling unit) ¡TT/HT (Temperature / Humidity) ¡Exhaust (AEX, BEX, VEX, GEX) ¡FFU (Fan Filter Unit) ¡FID (Flame Ionization Detector, 揮發性有機廢氣分 析設備, VOC, ACID)

System Integration

系統架構需求分析 l 系統架構需求分析 ¡Discrete Process? l. Sequence? State? On/Off? • Transfer Lines, Motor, Switch l. Implement method • PLC • IPC , IO ¡Continuous Process? l. Piping monitoring? Tank? Temperature / Pressure / Flow rate / Level ? • DCS ¡Hybrid Control System (PLC & DCS, PAC)

l Layers ¡SCADA (Profi. Net) ¡Control Layer (Profi. Bus) ¡Field l. AS l. Hardwire

l Layers ¡SCADA – Ethernet ¡Control Layer -- Control. Net ¡Field Layer l. DH+ l. Foundation Fieldbus l. CAN Bus l. Hardwire

系統架構參考-Adventech l Ethernet overall ¡More integration devices / interface

l SCADA (opertaion) ¡Stations, C/S, Redundant, Internet l Control ¡Control functions ¡RIO ¡P 2 P ¡Integration with other systems ¡Redundant l Field ¡Equipment functions, interface, communication

Example l Facility System ¡…