KAEL 894 Tamnipdong Yuseonggu Daejeon 305 510 Korea

KAEL 894, Tamnip-dong, Yuseong-gu, Daejeon, 305 -510, Korea Tel: (042)931 -6287~9 Fax: (042)931 -9190 http: //www. kael. co. kr We provide The Hitechnology & Future Environment KAEL 회사소개서

We provide The Hitechnology & Future Environment 연구개발 현황 년 도 1999년 개 발 명 m CA Filter 개발 (Carbon Type, Fabric Type, Pleat Type) m 반도체 유해가스 제거용 Coating Resin 개발 m VSA 방식을 이용한 VOC 회수 장치 개발 2000년 m O 3 CA Filter 개발 m NH 3 CA Filter 개발 (Carbon Type) m 이온교환섬유와 이온교환수지를 이용한 Media 제조와 이를 응용한 Wet Scrubber 장치 개발 2001년 m NH 3 CA Filter 개발 (이온교환부직포 Type, 이온교환수지 Type) m Ion Exchange Scrubber 와 Coating Resin을 이용한 소각로 유해가스 제거기술 개발 2002년 m CO Filter 개발 m Hybrid Filter(O 3+NOx) 개발 m NF 3, Cl. F 3, As. H 3, PH 3, BF 3 제거용 Coating Resin 개발 2003년 m m 특수환경오염제어기 개발 (산업용, 화장실용, RI용, 야채/화훼용) Hybrid Filter(NH 3+SOx+NMP+Amine+NOx) 개발 Cyplus CA Filter 개발(삼성반도체와 공동 특허취득) Ion Exchange Scrubber 개발 5 Confidential www. kael. co. kr

We provide The Hitechnology & Future Environment 기술 및 영업 Network 사업분야 주요 Network 연구개발 반도체 사업 디스플레이 사업 환경 및 특수사업 8 Confidential www. kael. co. kr

We provide The Hitechnology & Future Environment Ⅲ. 제품 구성 적용 주요제품 사업구분 기초 핵심소재 m Coating Resin (Impregnated Active Carbon, Inorganic Adsorbant, Catalyst) m CA Filter ( NH 3, Organic, ACID, SO 2, Amine, SOx, NMP. . . ) CYPLUS-1000 Series ( FFU용 )/ CYPLUS-2000 Series ( 순환기용 ) 반도체/ 디스플레이 사업 CYPLUS-3000 Series ( 외조기용 )/ CYPLUS-5000 Series ( 장비용 ) CYPLUS-6000 System m A-Line Filter ALPLUS-1000, 2000, 3000 Serise m Gas Scrubber/Resin, Ion Exchange Scrubber 장치 및 시스템분야 m 대기오염방지시스템 (VOC 회수/제거설비, 악취제거설비, De-NOx 설비) m 특수가스제거장치 (Gas Filtering System, 특수환경오염제어기) m Total Off-Gas Control System m PAS (백연제거시스템) , KWRF(산배기처리시스템) m 군용 Coating Resin , 군용 방독면 정화통 m 가스여과기(함상용, 전차용) 9 Confidential www. kael. co. kr

We provide The Hitechnology & Future Environment CA Filter ? 고 청정공간 유지(화학오염원)를 통한 생산성향상의 필수품 시대별 반도체 오염원 및 제거기술 Oxygen etc 주된 오염원 및 제거대상 제거기술 및 방법 Chemical Gases (Mix / organic) (CA Filter 국산화) V-BED PLEAT Round HYBRID TRAY V-Bank 오염원의 영향 Chemical Gases (CA Filter, 수입) Air Particle Contaminant (밀폐공간유지/HEPA Filter) Metal Contaminant (Wet Cleaning Tech) 1960 1970 1980 1990 2000 2010 2020 CA Filter Type [공기청정협회 공기청정기술지 06/12] 12 Confidential www. kael. co. kr

We provide The Hitechnology & Future Environment CA Filter ? 극 저농도 분자상 물질 제어 기술 Type KAEL’s Model CYPLUS-1000 Series CYPLUS PLEAT Target Gases MA MB o o CYPLUS-1000 Series o o CYPLUS-2000 Series MC MD Ozone VOCs o o o o o TRAY CYPLUS-3000 Series o o o PANEL CYPLUS-5000 Series o o o V-BED CYPLUS-5000 Series o o o MA : Molecular Acids (SOx, NOx, HCl, Cl 2, HF, H 2 S…, ), MB : Molecular Bases (NH 3, Amine, NMP. . , ) MC : Molecular Condensables (MW. 120, BP. 150℃ Organic material), MD : Dopants (Arsine, Boric Acid, Phosphorus…, ) Ozone : O 3 , VOCs : Volatile organic compounds) 13 Confidential www. kael. co. kr

We provide The Hitechnology & Future Environment Application for Semiconductor ③ ③ ALPLUS-1000, 2000 Series ④ PHOTO ZONE ( MA, MB, VOCs) ④ ALPLUS-1000, 2000 Series DIFFUSION/CVD ZONE (Ozone, MA, VOCs) ② ① ⑥ ⑤ ⑦ ③ ④ ⑥ CYPLUS-3000 Series ⑤ CYPLUS-3000 Series (MA, MB, Ozone) ① CYPLUS-5300 Series (MA, MB, MC, MD, VOCs) ⑦ CYPLUS-5200 Series ② ALPLUS-5100 Series (MC, VOCs) (Ozone, MA) 14 Confidential (MA, MB, Ozone) www. kael. co. kr

We provide The Hitechnology & Future Environment Application for Display ③ ③ ALPLUS-1000, 2000 Series ④ TFT ZONE ( MB, MC, VOCs) ④ ALPLUS-1000, 2000 Series COLOR FILTER ZONE (MB, MC, VOCs) ② ① ⑤ ⑥ ③ ④ ①② CYPLUS-5000 Series (MB, MC, VOCs) ⑤⑥ CYPLUS-6000 SYSTEM 15 (MA, MB, MC, VOCs) Confidential www. kael. co. kr

We provide The Hitechnology & Future Environment Dry Scrubber Resin Film Gas KAEL Model No. 비 고 Metal Al Cl 2, BCl 3, SF 6, C 2 F 6 KSC-01 Dry Poly W Cl 2, HBr, CF 4, CHF 3 KSC-02 Dry DOPE As. H 3, PH 3, BF 3 KSA-01 Dry BPSG TEOS, TMP, TMB, NF 3, C 2 F 6 KST-01 Dry Core Oxide TEOS, TMP, NF 3, C 2 F 6 KST-01 Dry W-CVD Si. H 4, WF 6, NF 3 KSS-01 Dry Poly Cide DCS, NH 3 KSD-01 Dry IMO, ARC, HDP등 Si. H 4, PH 3, WF 6, HCl, NF 3 KSN-01 Dry Cl. F 3 KSCC-01 Dry Process Etch Ion Implant CVD Chamber Cleaning 17 Confidential www. kael. co. kr

We provide The Hitechnology & Future Environment 장치 및 시스템 분야 – 주요 제품 핵심기술/소재의 장치화 및 시스템화 MEMC Korea 한수원 악취 제거 설비 대전 산업단지 폐수장 LG HIC 19 Confidential SK 에너지 POSCO www. kael. co. kr

We provide The Hitechnology & Future Environment 장치 및 시스템 분야 – 주요 제품 핵심기술/소재의 장치화 및 시스템화 VOC 회수 및 제거 설비 (주)SK 호남석유화학 백연제거시스템 PAS (Plume Abatement System) (Samsung, POSCO사 14 Set 공사 완료) PAS 설치 후 PAS 설치 전 20 Confidential www. kael. co. kr