Institutul National de Cercetare Dezvoltare pentru Microtehnologie IMT

Institutul National de Cercetare Dezvoltare pentru Microtehnologie (IMT- Bucuresti) www. imt. ro MICROSISTEME INTEGRATE DE TIP RF MEMS REALIZATE PE SILICIU, GALIU-ARSEN SI SEMICONDUCTORI DE BANDA LARGA PENTRU APLICATII IN DOMENIUL COMUNICATIILOR AVANSATE Contact: Dr. Alexandru Muller – alexm@imt. ro • Se prezinta demonstratoare originale pentru antene Yagi-Uda de 60 GHz pe membrane de Ga. As, antene Yagi-Uda de 77 GHz obtinute prin microprelucraea siliciului si receptor microprelucrat pentru 60 GHz realizat pe Ga. As • Structurile sunt realizate prin procese tehnologice noi, care se bazeaza pe microprelucrarea galiuarsen si siliciu de inalta rezistivitate Antena Yagi 60 GHz vedere de sus Antena Yagi 77 GHz – vedere de pe fata PROIECTARE SI FABRICATIE • Proiectarea componentelor suspendate pe membrane au fost modelate si proiectate folosind pachetul software de simulare electromagnetica tridimensionala IE 3 D Zeland Ltd. • Antenele Yagi-Uda de 60 GHz pe membrane de Ga. As, s-au realizat printr-un proces tehnologic nou, care se bazeaza pe combinarea microprelucrarii de suprafata cu microprelucrarea de volum a Ga. As, cu ajutorul corodarii RIE. • Antene Yagi-Uda de 77 GHz obtinute prin microprelucraea siliciului, au fost realizate printr-un proces tehnologic de microprelucrare a plachetelor de siliciu de inalta rezistivitate, de orientare <100> si 400μm grosime, bazat pe corodarea anizotropa a siliciului. • Receptor microprelucrat pentru 60 GHz realizat pe Ga. As, s-au realizat prin integrarea monolitica a unei diode Schottky cu o antena Yagi-Uda, ambele suspendate pe membrana microprelucrata. Structura de modul receptor APLICATII: Demonstratoarele contribuie la dezvoltarea unei noi generatii de circuite bazate pe tehnologii MEMS dedicate comunicatiilor in unde milimetrice. Noile microsisteme RF vor imbunatatii performantele front-end-urilor existente in domeniul undelor milimetrice. © 2007 IMT-Bucharest si circuitelor Detaliu SEM cu zona antenei din structura de receptor integrat pentru 60 GHz Centrul de Transfer Tehnologic pentru Microinginerie CTT-BANEASA info-ctt@imt. ro