Company Profile MAPOS 2017 10 22 Products OHT

Company Profile 메포스 (MAPOS) 2017. 10. 22

Products • 물류 반송 OHT 시스템이란 ? - 반도체 ① 생산 설비 間, ② Stocker 間, ③ Stocker to 생산설비 間 Wafer 용기를 무인 자동 반송하는 System 자동반송 System OHT Rail STB FOUP 자동 반송 [FOUP] 1 OHT가 FOUP를 생산설비에 Load/Unload OHT가 FOUP를 Stocker에 Load/Unload 2 [반도체 생산설비] [Stocker] [OHT] - Rail : OHT 주행로 - OHT : Rail을 따라 FOUP를 반송하는 Robot (Over Head Transport) - Stocker : FOUP 저장 창고 - STB : FOUP 저장 선반 - FOUP : Wafer 담는 용기 3/7

Products • 자동반송 Configuration ① ② ③ Rail ① : MCS 반도체 FAB Layout ② : OCS ③ : Rail + OHT Vehicle 4/7

Products • OHT 동작원리 유휴 OHT 작업 OHT 작업할당 경로탐색 주행관리 Unload 작업 양보설정 주행관리 경로탐색 Load 작업 Rail OHT 3 OHT 1 OHT 2 대기 OHT Process Equipment Load Port (IN/OUT) OUT IN Stocker 5/7

Products • OHT Vehicle 국산화 사양 FOUP OHT V 6 주요 사양 모델명 [주행부] [Slide부] [Hoist부] [Hand부] OTS-WT 06 Payload 10 kg Velocity - 직선/곡선구간 - 분기직선/곡선 - Cross 4. 2 / 1. 0 ㎧ 가속도 / 감속도 2. 5 ㎨ / 3. 5 ㎨ 이적재 시간(E 84 포함) EQ : 8 sec, STB, Stocker : 7 sec 이적재 작업 정도 ± 1 mm Hoist Spec 2. 9 M Sliding(shift) Spec. 설비측: 400 mm, 통로측: 500 mm Rotate Spec. ± 5°(삭제) 분기/합류 방식 VHL self switching 조향 시간 0. 5 sec Drive Device Friction Drive 곡선 반경 500 mm Size - Vehicle - Rail 437. 5(W)*854(D)*915(H) 397(W)*314. 5(H) 무게 - Vehicle - Rail 95 Kg 6. 12 Kg/m (직선), 70 Kg/EA (분기) 전원 장치(HID) 비접촉 전원 장치, 30 Kva 6/7

Products • Stocker 사양 : 생산되는 Wafer(FOUP)를 저장하거나, 다음 작업하기 위해 임시로 보관할 수 있도록 만든 무인 저장 창고 [Stocker Robot] Item Size [mm] 4, 200 L*1, 430 W*3000 H Crane 방식 Travel Type I/O Module 구성 Manual Port (2 Port) OHT Port (8 Port) Storage Capacity 0000개 Shelf 5단 8열 반송대상 300 mm FOUP (10 kg) Clean도 Class 10 [0. 1㎛] Crane 승강/ 이동축 Speed 이적재 Cycle Time In/output Conv. Specification 통신 방식 ID 인식 방법 각 120, 130 m/min 12 sec 이내 Ethernet 통신 RF-ID 인식 (Inventory확인기능 Robot탑재) 7/7