ART Automation Robotics Technology Stocker Wafer 25 FOUPFront

ART Automation & Robotics Technology □ 시스템 구성 • Stocker. 반도체 Wafer 25매를 담은 FOUP(Front Opening Unified Pod)을 저장하는 장치로 수십~수백 개의 FOUP을 저장하는 Shelf로 구성 Stocker 외부 구조 Stocker 내부 Shelf구조 Stocker IN/OUT Port 2016. 9. 1 ART – Automation & Robotics Technology Co. , LTD. FOUP 도전 17503

ART Automation & Robotics Technology □ Software 제어기 & Hardware 구성 • Software 제어기 구성 • Hardware 구성 MIS 경영정보시스템 Stocker (management information system) Stocker 유선 Network MES 제조실행시스템 (Manufacturing Execution System) 반도체 공정설비 유선 Network Rail OHT MCS 반송제어시스템 (Material Control System) Tower Lifter 층간반송장치 OCS OHT 제어시스템 (OHT Control System) AP AP 무선 Network Stocker Lifter Tower Lifter 층간반송장치 자동반송 제어 시스템 OHT 2016. 9. 1 ART – Automation & Robotics Technology Co. , LTD. 도전 17503