2 Total Pressure Gauge liquide manometer Mc Leod

진공도 측정법(2) (측정 기체의 구분에 따른 분류) ▷ 전압(全壓) 게이지(Total Pressure Gauge, 기체 분자의 양 측정) 액체 압력계(liquide manometer), 맥레오드 게이지(Mc. Leod gauge), 격막 게이지(Diaphragm gauge), 벌던 게이지(Bourdon gauge), 전기용량 압력계 (Capacitance manometer gauge), 열전도 게이지(Thermal conductivity gauge, Pirani gauge, Convectron gauge), 자전 회전자 게이지(Spinning rotor gauge, SRG), 이온화 게이지(Ionization gauge, 열음극 게이지, 냉음극 게이지) ▷ 분압(分壓) 게이지(Partial Pressure Gauge, 기체 분자의 종류와 양 측정 ) 잔류기체 분석기(Residual Gas Analyer, RGA) - 잔류질소 분석기(Residual Nitrogen Analyer, RNA) - 자장편향형 분석계(Magnetic Sector Analyzers) - 비행시간형 질량 분석계(TOF(Time-of-flight) mass analyzer) - 4중극 질량분석계(Quadrupole Mass Spectrometer, QMS)

전압 게이지(Total Pressure Gauge) - 4 • 열전도게이지(Thermal conductivity gauge) 기체의 열전도율이 압력에 비례. 압력 측정범위 : 대기압 – 10 -3 Torr - Pirani gauge - Thermocouple gauge - Convectron gauge

Soft X-ray effect 감소 구조 압력 측정 하한 : 10 -10 Torr Chamber와 gauge 사이의 conductance 제약 개선