1 National Nano Device Laboratories Create for the

技術資料 垂直爐管 1 National Nano Device Laboratories Create for the future 國家奈米元件實驗室垂直爐管技術資料

1、概觀 2、模組介紹 2 National Nano Device Laboratories Create for the future 國家奈米元件實驗室垂直爐管技術資料

1、概觀 1. 1 A-400是模組化爐管，設計為處理矽晶片，如半導體元件製造的一部 份。 A-400結構由下列組成： ‧Work-In-Progress（WIP）station ‧Robot section ‧Reactor module（two or three） 3 National Nano Device Laboratories Create for the future 國家奈米元件實驗室垂直爐管技術資料